类金刚石薄膜的微观结构及摩擦学性能研究

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• 作者：杨莉付亚波陈强
• 会议时间：2008-04-01
• 关键词：类金刚石薄膜 ; 结构分析 ; 摩擦性能 ; 射频等离子体 ; 化学气相沉积
• 作者单位：北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,等离子体物理及材料研究室,北京 102600
• 母体文献：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
• 会议名称：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

以C2H2为碳源,Ar气为辅助气体,利用射频等离子体化学气相沉积的方法在载玻片上成功地制备了类金刚石(DLC)薄膜。通过红外光谱(FTIR)光谱分析了所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率;另外,实验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。实验结果表明,制备的DLC薄膜比较致密,均匀,有较好的耐磨性能。