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微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究
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  • 作者:朱正鹏缪晻瞿波金玉丰冯进军
  • 会议时间:2006-09-21
  • 关键词:太赫兹 ; 真空电子技术 ; 有限积分方法 ; 微机电系统 ; 行波管
  • 作者单位:朱正鹏(北京大学深圳研究生院,广东,深圳,518055;北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871)缪晻(北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871;北京信息工程学院信息与通信工程系,北京,100101)瞿波,冯进军(北京真空电子研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京,100016)金玉丰(北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871)
  • 母体文献:传感技术学报
  • 会议名称:第八届中国微米/纳米技术学术年会
  • 会议地点:南京
  • 主办单位:中国微米/纳米技术学会
  • 语种:chi
摘要
在太赫兹频段,折叠波导行波管因其重要的应用价值已成为一个研究热点.本文介绍了折叠波导结构和折叠波导行波管,优化设计了一种560GHz行波管器件的结构尺寸,并分别用理论解析方法和软件模拟工具研究了折叠波导慢波结构的冷测特性.文章还对该类折叠波导慢波结构的微加工技术进行了初步的探讨,提出了基于ICP体硅深刻蚀、无电镀铜等组合工艺方案.

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