应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现

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英文篇名：The design and implementation of mini thermal-stable system applying to MEMS accelerator 中文刊名：地震地磁观测与研究 英文刊名：Seismological and Geomagnetic Observation and Research 作者：李建飞 ; 薛兵 ; 张俊峰 ; 朱小毅 ; 王晓蕾 英文作者：Li Jianfei ; Xue Bing ; Zhang Junfeng ; Zhu Xiaoyi ; Wang Xiaolei ; Institute of Earthquake Science ; China Earthquake Administration ; Beijing Gangzhen Mechanical & Electronic Co.Ltd. 中文关键词：恒温系统 ; MEMS加速度计 ; 零点漂移 ; 低功耗 英文关键词：thermal-stable system ; MEMS accelerometer zero-level ; drift low power consumption 出版日期：2013-04-25 机构：中国地震局地震预测研究所;北京港震机电技术有限公司; 年：2013 期：Z1 出版单位：地震地磁观测与研究

摘要

介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标。小型恒温系统采用独特工艺,实现简单;恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗。实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小。
Temperature fluctuation is the major reason to influence the stability and performance of instruments.This paper presents a method for the implementation of mini thermal-stable system,which can keep the temperature surrounding MEMS accelerator constant.And then,some relative parameters of MEMS accelerator can be improved.This system is easy to get,with special technology,and can change the thermal-stabe working point to reduce power consumption.The result of experiment shows that,the zero-level drift of MEMS accelerator with thermal-stable system decreases obviously.

引文

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