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1.
地震勘探用三维MEMS加速度传感器的研究
作者:
谌贵辉
;
刘建生
;
李礼
;
杨帆
关键词:
微机电系统
;
加速度传感器
;
仿真
刊名:
传感器与微系统
日期:2012-04-20
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