柔性衬底ITO
透明导电薄膜
的光电性能研究
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出版年:2007
作者:孙裔;刁训刚;杨盟;武哲;舒远杰
单位1:北京航空航天大学
出生年:1982
学历:硕士生
语种:中文
作者关键词:直流磁控溅射:柔性衬底;ITO
透明导电薄膜
起始页:86
总页数:5
经费资助:国家自然科学基金重点项目(90305026)及中国工程物理研究院双百人才基金(2005R0504)资助
刊名:稀有金属材料与工程
是否内版:否
刊频:月刊
主管单位:中国科学技术协会
主办单位:中国有色金属学会;中国材料研究学会;西北有色金属研究院
主编:殷为宏
地址:北京市东皇城根北街16号
邮编:100717
电子信箱:rmme@c-nin.com
网址:http://www.c-nin.com
卷:36
期:1
期刊索取号:P/822.06/141-1
数据库收录:国家重点学术期刊;首届国家期刊奖;中国优秀科技期刊一等奖;中国有色金属工业优秀科技期刊一等奖;中国期刊方阵双奖期刊;陕西省优秀科技期刊特等奖;中国科技论文统计源期刊;中国科学引文数据库文献源;中文核心期刊;中国材料科学核心期刊;中国物理学核心期刊;中国学术期刊光盘版入网刊物;美国ISI数据库用刊(SCI Expanded®,Research Alert®, Materials Science Citation Index®);美国工程索引(EI)文献源期刊;美国化学文摘(CA)文献源期刊;英国科学文摘(INSPEC)文献源期刊;日本科学技术文献速报(JICST)用刊;俄罗斯文摘杂志(AJ)文献源期刊;剑桥科学文摘(CSA)文献源期刊;美、英金属文摘(MA)文献源期刊;美国陶瓷文摘文献源期刊;世界铝文摘文献源;美国国会图书馆收藏刊物;中国科技期刊篇名数据库收录刊物;中国科技期刊篇名数据库收录刊物;有色金属文献数据库文献源;《中国学术期刊文摘》文献源;《中国冶金文摘》文献源;《中国无机分析化学文摘》文献源;《物理文摘》文献源;《中国核科技文摘》文献源;《有色金属文摘》文献源
核心期刊:中文核心期刊;中国材料科学核心期刊;中国物理学核心期刊
摘要
利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)
透明导电薄膜
,采用X射线衍射、紫外一可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件。制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Q/口。