聚焦离子束电子束双束系统在钢铁材料研究中的应用

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：金传伟洪慧敏张珂汪兵
• 会议时间：2013-10-22
• 关键词：钢铁材料 ; 聚焦离子束电子束双束系统 ; 金相组织 ; 表面形貌
• 作者单位：沙钢钢铁研究院,张家港 215625
• 母体文献：第九届中国钢铁年会论文集
• 会议名称：第九届中国钢铁年会
• 会议地点：北京
• 主办单位：中国金属学会
• 语种：chi
• 分类号：TG1;TB3

摘要

聚焦离子束电子束双束系统集成了电子束的高分辨率和离子束的样品加工功能,在半导体行业的材料失效分析领域发挥着积极的作用.近年来,双束系统开始在钢铁材料研究领域推广和应用.本文对双束系统在钢铁材料透射电镜样品制备、三维原子探针样品制备等方面作了详细分析,同时介绍了双束系统在钢铁材料表面形貌的分析、图像三维重构、失效分析以及镀层厚度检测等方面的应用.