超精密绝对光栅尺结构设计及其静态读码误差分析

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• 作者：陈彬
• 学科专业：机械工程
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：广东工业大学
• 导师姓名：刘强王晗
• 学位年度：2015
• 关键词：chi

摘要