不同在线色谱仪在多晶硅生产中的应用分析

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	作者：李福中 关键词：在线色谱仪 ; 多晶硅 ; 三氯氢硅 ; 检测器 中文刊名：FGGL 英文刊名：Chemical Enterprise Management 机构：天华化工机械及自动化研究设计院有限公司苏州研究所; 出版日期：2019-03-11 出版单位：化工管理 年：2019 期：No.515 语种：中文; 页：FGGL201908068 页数：2 CN：08 ISSN：11-3991/F 分类号：110-111

摘要

多晶硅在工艺生产中比较复杂,在工艺条件的上要求非常严格,在产品品质上极高的质量要求。在单质硅中多晶硅是其中的一种形态,多晶硅是取向这些成晶面不同的晶粒,以金刚石的形态利用物理化学等手段方法将其排列成许多的晶核。西门子、ABB、SRA、为目前国内多晶硅厂家使用的在线色谱仪的主要厂家,描述了三大厂家在多晶硅在生产中的使用情况,介绍了三类在线色谱仪的特点。
        

引文

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