基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统

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英文篇名：Study of Mine Earthquake Monitoring System Based on New MEMS Triaxial Accelerometer 中文刊名：仪表技术与传感器 英文刊名：Instrument Technique and Sensor 作者：李朋勃 ; 苏维嘉 英文作者：LI Peng-bo ; SU Wei-jia (Mechanical Engineering Institute Liaoning Technology University ; Fuxin 123000 ; China) 中文关键词：矿震监测系统 ; 加速度传感器 ; 嵌入式计算机 ; CAN总线 英文关键词：mine earthquake monitoring system ; accelerometer sensor ; embedded computer ; CAN bus 出版日期：2009-10-15 机构：辽宁工程技术大学机械工程学院; 年：2009 期：S1 出版单位：仪表技术与传感器

摘要

微机电系统是指融合了硅微加工,光刻成型和精度机械加工等多种微加工技术制作的微传感器、微执行器和微系统。MMA7260Q是飞思卡尔推出的一款微型电容式三轴加速度传感器,内部采用了信号调理、单极低通滤波器和温度补偿技术,可以采集震动产生的加速度在三坐标中的各个分量。三轴加速度传感器MMA7260Q与嵌入式计算机组成测量节点,各节点由CAN总线组成分布式检测网络,完成矿震的监测、震源的定位和趋势分析。使监测灵敏度、定位精度、传感器可靠性有了很大的提高。
MEMS are the micro-sensor,micro-actuator and micro-system produced by the micro-machining technology which fuses the silicon micro-machining,molding and precision lithography and so on.MMA7260Q is Freescale's miniature triaxial accelerometer capacitance sensor,which uses the technologies of signal conditioning,the single low-pass filter and temperature compensation, can get the various components of mining earthquake in the 3D acceleration,and then the determination of the linear space is achieved.Triaxial accelerometer MMA7260Q and embedded computer component measurement node,each node is composed by the CAN bus distributed detection network,and completes mining earthquake monitoring,the source location and trend analysis.

引文

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