激光清洗--富有前途的环保型清洗方法

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• 作者：宋峰刘淑静颜博霞
• 会议时间：2004-06-08
• 关键词：激光清洗 ; 激光应用 ; 表面污染 ; 微电子器件
• 作者单位：南开大学物理学院光子学中心,天津,300071
• 母体文献：第四届全国清洗行业技术进步与发展研讨会论文集
• 会议名称：第四届全国清洗行业技术进步与发展研讨会
• 会议地点：北京
• 主办单位：全国清洗行业信息中心
• 语种：chi

摘要

激光清洗是一种新的清洗方法,它利用激光的方向性和高亮度,通过光剥离、光分解等原理清除材料表面的污染物,具有简单方便无二次污染等独特优点.简述了激光清洗的原理及激光清洗表面微粒的方法,介绍了激光清洗在微电子器件清洗、除锈脱漆、文物和城墙清洗等几方面的应用.