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W过渡层厚度对类金刚石薄膜结构和
机械性能
的影响
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作者:
卓国海赵运才李晓伟柯培玲汪爱英
会议时间:2014-10-01
关键词:
金属表面处理
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类金刚石薄膜
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钨过渡层厚度
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组织结构
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机械性能
作者单位:卓国海(江西理工大学,江西赣州 341000;中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201)赵运才(江西理工大学,江西赣州 341000)李晓伟,柯培玲,汪爱英(中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室,浙江省海洋材料与防护重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201)
母体文献:第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文集
会议名称:第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
会议地点:武汉
主办单位:中国机械工程学会
语种:chi
摘要
采用离子束复合磁控溅射沉积技术在硬质合金上制备了不同W过渡层厚度的类金刚石薄膜,重点考察了过渡层厚度对薄膜结构成分、表截面形貌、
机械性能
和膜基结合性能的影响.研究结果表明:类金刚石薄膜结构性能强烈依赖于W过渡层的厚度.随过渡层厚度的增加,C-Csp3含量先增加后降低,而残余应力逐渐降低;薄膜基体成分扩散发生界面机械互锁现象;当过渡层厚度为351nm时,薄膜硬度达到最大值,为26GPa,膜基结合力达70N以上,与未镀过渡层的薄膜体系相比提高了40%.