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磁控溅射
技术在DI材表面制备Al膜的可加工性研究
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作者:
谯朝晖田广科戴毅刚
会议时间:2013-06-01
关键词:
钢板包材
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磁控溅射
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真空镀铝
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加工工艺
作者单位:谯朝晖,戴毅刚(宝山钢铁股份有限公司研究院,上海201900)田广科(兰州交通大学国家绿色镀膜技术与装备工程技术中心,甘肃兰州730070)
母体文献:第五届宝钢学术年会论文集
会议名称:第五届宝钢学术年会
会议地点:上海
主办单位:中国金属学会
语种:chi
分类号:TN3;TF1
摘要
使用真空直流
磁控溅射
技术在DI材表面制备Al膜,并对镀铝DI材的可加工性与制备条件及铝膜的厚度之间的关系进行了研究.杯凸和冲杯试验表明铝膜沉积时的基板温度和膜厚对铝膜的附着力和可加工性有较大影响,当铝膜厚度大于2 μm时,铝膜的附着力变差.当基板温度从室温升至200℃时,铝膜的附着性和冲压性能有明显提升。