提高载物台定位精度的研究

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• 作者：华晓青
• 学科专业：精密仪器及机械
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：上海大学
• 导师姓名：孙麟治
• 学位年度：2005
• 关键词：chi

摘要