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SiC电容式压力传感器敏感元件的工艺研究
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作者:
程伟
学科专业:机械制造及其自动化
授予学位:硕士
学位授予单位:厦门大学
导师姓名:
孙道恒
王凌云
学位年度:2013
关键词:chi
摘要