微悬臂梁的冲击、静电和阻尼研究
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  • 作者：李向光
  • 学科专业：光电子技术与仪器
  • 授予学位：硕士
  • 学位授予单位：中北大学
  • 导师姓名：王志斌黄钦文
  • 学位年度：2014
  • 关键词：chi
摘要