用于压电陶瓷微位移标定的触针激光干涉测量仪的研制

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• 作者：尚骞
• 学科专业：精密仪器及机械
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：华中科技大学
• 导师姓名：刘晓军
• 学位年度：2009
• 关键词：chi

摘要