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  • 中文刊名：BDTQ
  • 英文刊名：Micronanoelectronic Technology
  • 出版日期：2019-05-06
  • 出版单位：微纳电子技术
  • 年：2019
  • 期：v.56;No.505
  • 语种：中文;
  • 页：BDTQ201906004
  • 页数：1
  • CN：06
  • ISSN：13-1314/TN
  • 分类号：22
摘要
<正>《微纳电子技术》是中文核心期刊,被国内外多家知名数据库收录。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备。主要内容包括:纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、功能材料与新材料、纳米测试与显微技术、MEMS与传感器、微
        
引文