微小内尺度测量系统精度分析及若干关键问题研究

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• 作者：宋传曦
• 学科专业：仪器科学与技术
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：哈尔滨工业大学
• 导师姓名：丁雪梅
• 学位年度：2010
• 关键词：chi

摘要