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1.
多晶硅生产中三氯氢硅精馏节能工艺
作者:
黄国强
;
石秋玲
;
王红星
关键词:
多晶硅
;
高纯三氯氢硅
;
差压
;
热耦合
;
节能
刊名:
化工进展
日期:2011-12-05
1
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