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数理科学和化学(2)
工业技术(5)
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CNKI学位论文
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1.
相移点
衍射
干涉仪深亚纳米精度参考波前研究
作者:
卢增雄
关键词:
极紫外光刻
;
点
衍射
干涉仪
;
矢量瑞利-索末菲
衍射
积分公式
;
时域有限差分法
;
微孔衍射
;
微孔
圆度
;
衍射
参考波前质量
;
杨氏双孔干涉实验
论文级别:
博士
学位年度:2013
2.
微孔
阵列谐振腔输出光场分布研究
作者:
宋业英
关键词:
微孔
;
微孔
阵列
;
相干合成
论文级别:
硕士
学位年度:2011
3.
大口径平面微结构光子筛设计与成像特性研究
作者:
陈志峰
关键词:
光子筛
;
大口径
;
微结构
;
光刻
;
衍射
光学元器件
;
成像特性
论文级别:
硕士
学位年度:2010
4.
喷丝板光电检测系统的研究与设计
作者:
刘贵林
关键词:
喷丝板
;
CCD
;
光电成像
;
图像处理
;
形态分析
论文级别:
硕士
学位年度:2010
5.
激光在线测量信号特性及甄别方法研究
作者:
李高丰
关键词:
激光
;
在线
;
校准
;
偏心量
;
仿真
论文级别:
硕士
学位年度:2010
1
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