作者：苏东奇

关键词：绝对检测 ; 旋转平移绝对检测 ; 两球面绝对检测 ; 不确定度

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：许嘉俊

关键词：光学测量 ; 干涉计量 ; 干涉仪 ; 点衍射干涉仪 ; 针孔衍射

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：邵晶

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 基准波前 ; 光学检测 ; 相位复原

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：卢增雄

关键词：极紫外光刻 ; 点衍射干涉仪 ; 矢量瑞利-索末菲衍射积分公式 ; 时域有限差分法 ; 微孔衍射 ; 微孔圆度 ; 衍射参考波前质量 ; 杨氏双孔干涉实验

论文级别：博士

学位年度：2013

作者：宋伟红

关键词：光学检测 ; 干涉测量 ; 面形误差检测 ; 绝对检测 ; 平移旋转

论文级别：博士

学位年度：2014

作者：褚光

关键词：小孔尺寸 ; 衍射光强 ; 矢量衍射理论 ; 数值计算 ; 理想入射光波 ; 初级球差

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：周宇轩

关键词：点衍射 ; 小孔 ; 误差分析 ; 干涉仪的调试 ; 小孔衍射球面波

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：朱培

关键词：白光干涉 ; 单帧测量 ; 抗振干涉 ; 光谱分析

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：陈琛

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉检测 ; 有限时域差分法 ; 波前误差 ; 近场远推

论文级别：硕士

学位年度：2012

作者：王道档

关键词：光学检测 ; 点衍射干涉技术 ; 针孔点衍射 ; 测量误差 ; 球面

论文级别：博士

学位年度：2012