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中图分类法(2)
工业技术(2)
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CNKI期刊论文0611
”中,
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1.
四氯化硅的制备工艺综述
作者:
刘邦煜
;
刘涛泽
;
叶春
关键词:
SiCl_4
;
高纯SiCl_4
;
多晶硅
;
硅藻土
刊名:应用化工
年:2019
2.
多晶硅副产物反歧化法合成三氯氢硅的研究进展
作者:
贺玉刚
;
王芳
;
孙强
;
张晓伟
;
付强
;
时庆合
关键词:
多晶硅
;
四氯化硅
;
二氯二氢硅
;
三氯氢硅
;
反歧化
刊名:化工管理
年:2019
1
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