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1.
低共熔溶剂型离子液体中电沉积制备纳米结构金属镀层研究
作者：
谷长栋
关键词：
金属镀层
;
电沉积法
;
纳米结构
;
制备工艺
;
低共熔溶剂
会议时间：2015-04-01
2.
微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术
作者：
伊福廷
关键词：
微机械结构
;
光刻电铸注塑技术
;
同步辐射光源
会议时间：2014-11-08
3.
微机电系统
开关可靠性及失效分析
作者：
郭永献梁丽萍张大兴
关键词：
射频
微机电系统
;
微波开关
;
可靠性
;
失效分析
会议时间：2007-11-03
4.
微机电系统
集成设计方法研究
作者：
张长富
关键词：
微机电系统
;
集成设计
;
设计方法
会议时间：2004-12-22
5.
在不锈钢表面利用飞秒激光加工微小结构的试验研究
作者：
齐立涛
关键词：
不锈钢
;
微小结构
;
飞秒脉冲激光
;
烧蚀阈值
;
有效烧蚀半径
会议时间：2011-10-22
6.
MEMS加工技术及其分类
作者：
刘春芳贾海东
关键词：
微机电系统
;
机械加工
;
抗蚀剂喷涂
;
封装技术
会议时间：2010-10-01
7.
制备MEMS悬空结构的正胶牺牲层工艺研究
作者：
付博肖建立商庆燕包艳萍李建华王志刚
关键词：
微机电系统
;
悬空结构
;
制作工艺
;
牺牲层
;
正胶材料
会议时间：2010-10-01
8.
MEMS微型不锈钢管壳成形工艺研究
作者：
赵鹏华
关键词：
不锈钢管壳
;
冲压成形
;
工艺参数
;
微机电系统
会议时间：2010-10-01
9.
基于MEMS工艺的亚毫米波混频器传输线制作技术
作者：
陈和峰李建华郭旭红房茂波武浩王志刚
关键词：
混频器
;
微带传输线
;
制作工艺
;
微机电系统
会议时间：2010-10-01
10.
激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究
作者：
江一汪炜刘正埙何铁军彭昀
关键词：
shock wave
;
electrolytic photo etching
;
titanium
;
micro-hole array
会议时间：2009-10-01
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