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条
1.
边界效应控制微纳嵌套褶皱形貌工艺研究
作者:
徐瀚洋
关键词:
微纳加工
;
嵌套褶皱
;
形貌结构
;
尺寸参数
;
边界效应
授予学位:硕士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2016
1
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