CNKI学位论文(10)
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1.
封闭式
绝对光栅尺
及其动态误码研究
作者：
韦青海
关键词：
机械测量
;
绝对光栅尺
;
动态误码
;
结构设计
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2015
2.
超精密
绝对光栅尺
结构设计及其静态读码误差分析
作者：
陈彬
关键词：
绝对光栅尺
;
图像识别
;
结构设计
;
模态分析
;
振动误差
授予学位：硕士
学位授予单位：广东工业大学
学位年度：2015
3.
一种变距计量光栅刻划的分度定位控制系统研究
作者：
张斐
关键词：
变距计量光栅
;
刻划设备
;
分度定位
;
闭环控制
;
误差分析
授予学位：硕士
学位授予单位：长春理工大学
学位年度：2011
4.
基于温度补偿的精密定位工作台精度研究
作者：
姜克壮
关键词：
温度补偿
;
精密定位工作台
;
超精密加工
;
定位精度
;
漂移现象
授予学位：硕士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2009
5.
二维零位光栅原理及其实验系统研究
作者：
周成刚
关键词：
二维零位光栅
;
编码设计
;
衍射效应
;
精密计量
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2007
1
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