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1.
投影
光刻机
调平调焦系统原理与故障分析
作者：
张文雅
;
赵英伟
关键词：
调平
;
调焦
;
投影
光刻机
年：2019
2.
硅晶片激光标识工艺参数的研究
作者：
李静坤
;
常耀辉
;
吕菲
;
刘娜
关键词：
激光标识
;
激光功率
;
频率
;
打标速度
年：2019
3.
光子人工智能芯片诞生 将中国芯片技术推向世界前沿
年：2019
4.
一种主动隔振装置控制系统设计
作者：
李俊丽
;
刘赟
关键词：
主动隔振装置
;
精密设备
;
控制架构
;
主动控制
年：2019
5.
光刻机
照明系统光瞳特性参数的评估算法
作者：
甘雨
;
张方
;
朱思羽
;
龚爽
;
黄惠杰
;
杨宝喜
关键词：
测量
;
光刻
;
光学设计
;
中继镜组
;
光瞳特性参数
年：2019
6.
多功能变电站巡检机器人系统研究
作者：
段华伟
关键词：
巡检机器人
;
嵌入式计算机
;
变电站
年：2019
7.
极紫外
光刻机
真空材料放气分率的单质谱测试方法研究
作者：
罗艳
;
王魁波
;
吴晓斌
关键词：
极紫外
光刻机
(EUVL)
;
真空材料
;
放气分率
;
四极质谱计(QMS)
年：2018
8.
多点实时
光刻机
光源照度均匀度检测系统设计
作者：
赵可为
;
谭艾英
;
尹韶云
;
蔡文涛
;
杨若夫
;
陈建军
;
佟首峰
关键词：
测量
;
照度均匀度
;
多点测量
;
光刻技术
;
光刻机
;
实时检测
年：2018
9.
一种便携式射频功率测量模块的设计
作者：
吴维
;
王亚东
关键词：
射频功率
;
ZX47-40+
;
采样保持
;
STM32L4
年：2019
10.
光刻机
照明光场均匀性高精度校正方法研究
作者：
程伟林
;
张方
;
林栋梁
;
曾爱军
;
杨宝喜
;
黄惠杰
关键词：
光数据存储
;
光刻机
;
照明系统
;
均匀性校正
年：2018
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