知网期刊论文(1)
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1.
低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法
作者:
金超群
;
杨宝喜
;
胡小邦
;
张方
;
马健
;
黄惠杰
关键词:
测量
;
透镜中心厚度
;
低相干光干涉
;
腔式
测量结构
;
平衡差分测量结构
年:2017
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