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1.
光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法
作者:
甘雨
;
张方
;
朱思羽
;
龚爽
;
黄惠杰
;
杨宝喜
关键词:
测量
;
光刻
;
光学设计
;
中继镜组
;
光瞳特性参数
年:2019
2.
基于M-BUS接口的热量表自动检定装置研制
作者:
张俊亮
;
周秉直
;
李锋
;
李宁
关键词:
M-BUS接口
;
闭式换向器
;
光电控制
;
热量表
;
自动检定
年:2019
3.
高精度成像角膜曲率计光学系统设计
作者:
张雪莹
;
王劲松
;
黄国林
;
许鹏飞
关键词:
高精度
;
成像角膜曲率计
;
双远心光路
;
低相干干涉
年:2019
4.
星敏感器恒星成像模型迭代估计方法
作者:
练达
;
毛晓楠
;
郑循江
;
周琦
;
余路伟
;
胡雄超
关键词:
恒星成像模型
;
偏正态分布
;
特征提取
;
Kalman滤波
;
模型参数确定
;
迭代估计
;
高斯分布
年:2019
5.
光刻机照明系统的多自由度均匀性校正方法
作者:
程伟林
;
张方
;
林栋梁
;
曾爱军
;
杨宝喜
;
黄惠杰
关键词:
光学设计
;
光刻机
;
照明系统
;
多自由度均匀性校正
年:2018
6.
光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究
作者:
程伟林
;
张方
;
林栋梁
;
曾爱军
;
杨宝喜
;
黄惠杰
关键词:
光数据存储
;
光刻机
;
照明系统
;
均匀性校正
年:2018
7.
多波段冷光学红外成像终端研制
作者:
黄智国
;
王建立
;
殷丽梅
;
李宏壮
;
刘俊池
;
刘祥意
关键词:
冷光学
;
红外探测
;
多波段
;
低温杜瓦
年:2018
8.
浸没式光刻系统中光束传输系统的设计
作者:
李美萱
;
阚晓婷
;
王美娇
;
李博
关键词:
光学设计
;
光刻照明系统
;
光束传输系统
;
柱面镜
年:2018
9.
高精度动态星模拟器的光学系统设计
作者:
赵梓朝
;
陈启梦
;
唐子博
;
王哲
关键词:
计量学
;
星模拟器
;
地面标定
;
准直光学系统
;
焦面
年:2018
10.
低相干光干涉高精度透镜中心厚度的测量方法
作者:
金超群
;
杨宝喜
;
胡小邦
;
张方
;
马健
;
黄惠杰
关键词:
测量
;
透镜中心厚度
;
低相干光干涉
;
腔式测量结构
;
平衡差分测量结构
年:2017
1
2
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4
5
6
7
8
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作者(18)
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