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1.
超宽禁带半导体Ga_2O_3微电子学研究进展
作者:
赵正平
关键词:
Ga2O3
单晶
;
Ga2O3
外延
;
β
-
Ga2O3
肖特基二极管
;
β
-
Ga2O3金属氧化物半导体场效应管
(
MOSFET
)
;
β
-
Ga2O3
鳍式场效应管(FinFET)
年:2019
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