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1.
非晶半导体薄膜用Te系化合物靶材制备
作者:
潘兴浩
;
储茂友
;
王星明
;
刘宇阳
;
白雪
;
桂涛
;
张朝
关键词:
非晶半导体
;
粉体
;
靶材
;
TeAsGeSi
;
致密化
年:2019
2.
热压烧结靶材制备氧化铟锌薄膜晶体管
作者:
宋二龙
;
兰林锋
;
林振国
;
孙圣
;
宋威
;
李育智
;
高沛雄
;
张鹏
;
彭俊彪
关键词:
薄膜晶体管
;
氧化铟锌
;
热压烧结
;
靶材
;
磁控溅射
年:2017
1
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