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1.
新型光刻技术
研究进展
作者：
何立文
;
罗乐
;
孟钢
;
邵景珍
;
方晓东
关键词：
激光技术
;
光学制造
;
新型光刻技术
;
无掩模光刻
;
掩模光刻
;
微纳结构
年：2019
2.
激光
光刻技术
的研究与前景
作者：
陆欣男
关键词：
激光
光刻技术
;
应用
;
发展前景
年：2018
3.
匀胶托盘几何参数对硅片形变的影响研究
作者：
魏存露
;
花国然
;
王强
关键词：
旋涂托盘
;
硅片
;
形变
;
数值模拟
年：2018
4.
全球光刻机发展概况以及光刻机装备国产化
作者：
张霞
;
刘宏波
;
顾文
;
周细应
;
于治水
关键词：
光刻
;
光刻设备
;
装备
;
国产化
年：2018
5.
基于瞳面干涉的自参考干涉仪的研制
作者：
罗佳林
;
许琦欣
;
侯文玫
;
金涛
关键词：
光刻机
;
自参考干涉仪
;
对准系统
;
套刻精度
年：2016
6.
微光刻与微加工技术工艺流程研究
作者：
郭党委
;
冯娟娟
;
席力
关键词：
微光刻与微加工
;
工艺参数
;
涂胶
;
曝光
;
刻蚀和剥离
年：2015
7.
光刻机掩模台微动台建模及控制系统仿真
作者：
张之万
;
徐加彦
;
强盛
关键词：
光刻机掩模台
;
三环PID控制
;
传递函数建模
年：2015
8.
光刻机掩模台微动台建模及控制系统仿真仪器仪表与检测技术
作者：
张之万
;
徐加彦
;
陈兴林
;
强盛
关键词：
光刻机掩模台
;
三环PID控制
;
传递函数建模
年：2014
9.
20nm以后的集成电路技术
作者：
王震宇
关键词：
20nm
;
集成电路
年：2013
1
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