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1.
无基膜高
深宽比
双面集成微结构元件的制作
作者:
徐平
;
黄燕燕
;
张旭琳
;
杨伟
;
彭文达
关键词:
双面集成
;
无基膜
;
高
深宽比
;
紫外压印
年:2019
2.
40nm节点高
深宽比
接触孔刻蚀电性能稳定性改善
作者:
贺金鹏
;
蒋晓钧
;
明安杰
;
傅剑宇
;
罗军
;
王玮冰
;
陈大鹏
关键词:
高
深宽比
;
接触孔刻蚀
;
侧壁形貌
;
刻蚀选择比
;
接触电阻
;
刻蚀设备耗材
年:2019
3.
微孔通道
深宽比
与曲率半径对龙虾眼光学系统成像的影响
作者:
彭松武
;
韦飞
;
郭亦鸿
;
叶依众
关键词:
X射线成像
;
龙虾眼系统
;
深宽比
;
曲率半径
;
角分辨率
年:2019
4.
雷达用高
深宽比
金属铜微通道散热器的制作
作者:
李晓军
;
吕辉
;
朱和卿
;
赵雯
;
杜立群
关键词:
金属微通道
;
胶厚均匀性
;
胶厚测量
;
紫外光刻
;
雷达
年:2019
5.
高层框-剪结构建筑的定向爆破拆除
作者:
姚显春
;
姚尧
;
张伟
;
姚均
;
谢海香
关键词:
框-剪结构
;
拆除爆破
;
预拆除
;
定向爆破
年:2019
6.
复旦大学制备出外尔半金属材料-砷化铌纳米带 电导率是石墨烯的1000倍
作者:
编辑部
年:2019
7.
高灵敏度Ⅱ类超晶格长波红外探测系统研究
作者:
饶鹏
;
张磊
;
赵云峰
;
陆福星
;
许佳佳
;
王芳芳
关键词:
光电探测系统
;
长波红外
;
高灵敏度
;
Ⅱ类超晶格
年:2019
8.
高
深宽比
微细结构紫外光固化-脱模工艺建模与分析
作者:
吴昊
;
易培云
;
彭林法
;
来新民
关键词:
高
深宽比
;
卷对卷
;
固化-脱模
;
结构缺陷
年:2018
9.
应用于堆叠纳米线MOS器件的STI工艺优化研究
作者:
徐忍忍
;
张青竹
;
姚佳欣
;
白国斌
;
熊文娟
;
顾杰
;
殷华湘
;
吴次南
;
屠海令
关键词:
SiO2
;
HF溶液
;
腐蚀
;
高
深宽比
工艺
;
浅沟槽隔离
年:2019
10.
基于CMOS-MEMS工艺的高
深宽比
体硅刻蚀方法的研究
作者:
张海华
;
吕玉菲
;
鲁中轩
关键词:
CMOS-MEMS工艺
;
高
深宽比
;
深槽刻蚀
;
RIE和Bosch工艺
年:2018
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