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条
1.
铌钽合金化对钼合金靶材组织与薄膜结构的影响
作者:
付振华
;
李继文
;
魏世忠
;
耿宏安
;
刘刚
关键词:
钼靶材
;
铌钽合金化
;
靶材组织
;
薄膜结构
;
方阻
年:2018
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