作者：徐平 ; 黄燕燕 ; 张旭琳 ; 杨伟 ; 彭文达

关键词：双面集成 ; 无基膜 ; 高深宽比 ; 紫外压印

年：2019

作者：贺金鹏 ; 蒋晓钧 ; 明安杰 ; 傅剑宇 ; 罗军 ; 王玮冰 ; 陈大鹏

关键词：高深宽比 ; 接触孔刻蚀 ; 侧壁形貌 ; 刻蚀选择比 ; 接触电阻 ; 刻蚀设备耗材

年：2019

作者：李晓军 ; 吕辉 ; 朱和卿 ; 赵雯 ; 杜立群

关键词：金属微通道 ; 胶厚均匀性 ; 胶厚测量 ; 紫外光刻 ; 雷达

年：2019

作者：徐忍忍 ; 张青竹 ; 姚佳欣 ; 白国斌 ; 熊文娟 ; 顾杰 ; 殷华湘 ; 吴次南 ; 屠海令

关键词：SiO2 ; HF溶液 ; 腐蚀 ; 高深宽比工艺 ; 浅沟槽隔离

年：2019

作者：罗凡 ; 冯飞 ; 赵斌 ; 田博文 ; 杨雪蕾 ; 周海梅 ; 李昕欣

关键词：微机电系统 ; 气相微色谱柱 ; 高深宽比微沟道

年：2018

作者：吴昊 ; 易培云 ; 彭林法 ; 来新民

关键词：高深宽比 ; 卷对卷 ; 固化-脱模 ; 结构缺陷

年：2018

作者：乔夫龙 ; 耿金鹏 ; 许鹏凯

关键词：集成电路制造 ; 干刻刻蚀 ; CMOS图像传感器 ; full ; well ; capacity ; 光素性能 ; high-aspect-ratio ; Deep ; P-well ; IMP图案掩模 ; 高深宽比 ; Tri-Layer ; PR/SiHM/SOC ; 像素压缩

年：2018

作者：张海华 ; 吕玉菲 ; 鲁中轩

关键词：CMOS-MEMS工艺 ; 高深宽比 ; 深槽刻蚀 ; RIE和Bosch工艺

年：2018

作者：李军 ; 元秀华 ; 王铭淏

关键词：自由空间光通信 ; 环形光束 ; 海洋湍流 ; 无人水下航行器-无人机光学链路 ; 波动光学仿真

年：2019

作者：赵卫军

关键词：高深宽比 ; 柔性微米纤维 ; 贴地倾倒 ; 侧向倾倒

年：2017