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1.
非晶半导体薄膜用Te系化合物靶材制备
作者:
潘兴浩
;
储茂友
;
王星明
;
刘宇阳
;
白雪
;
桂涛
;
张朝
关键词:
非晶半导体
;
粉体
;
靶材
;
TeAsGe
Si
;
致密化
年:2019
1
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