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1.
筒内高功率脉冲磁控放电的电磁控制与优化研究
论文作者:
肖舒
;
吴忠振
;
崔岁寒
;
刘亮亮
;
郑博聪
;
林海
;
傅劲裕
;
田修波
;
朱剑豪
;
潘锋
论文关键词:
高功率脉冲磁控溅射
;
筒内放电
;
电子阻挡屏极
;
磁场补偿
会议召开时间:2016-12-02
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