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1.
RF MEMS微电感和微电容的制造技术及其特性研究
作者:
方东明
关键词:
射频微机电系统
;
微电感
;
可变电容
;
品质因数
;
电感量
;
可调比
;
氧化铝
;
设计
;
优化
;
HFSS仿真
论文级别:
博士
学位年度:2008
2.
高频感应钎焊金刚石砂轮的基础研究
作者:
徐正亚
关键词:
感应钎焊
;
金刚石
;
砂轮
;
界面结构
;
导磁体
;
局部加热
;
温控系统
;
硬质合金
;
磨削
论文级别:
博士
学位年度:2008
3.
基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究
作者:
王佩红
关键词:
能量采集
;
电磁式振动能量采集器
;
MEMS
;
物理模型
;
共振
;
有限元仿真
;
三明治结构
;
感应电动势
;
负载功率
;
宽频
论文级别:
博士
学位年度:2010
4.
磁致双稳态MEMS电磁微继电器的研制
作者:
付世
关键词:
微机电系统继电器
;
磁致锁定
;
电磁驱动
;
滑动接触
;
大曲率半径微型弧面结构
;
溶胶技术
;
碳纳米纤维复合金属材料
论文级别:
博士
学位年度:2008
5.
基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究
作者:
郭占社
关键词:
电磁型平面微电机
;
LIGA工艺
;
硅深刻蚀工艺
;
非接触式力矩测试仪
论文级别:
博士
学位年度:2003
6.
微型智能磁航向系统研究
作者:
刘诗斌
关键词:
磁航向系统
;
电子磁罗盘
;
微处理器
;
智能传感器
;
;
磁通门
;
磁场测量
;
罗差
;
误差补偿
;
虚拟仪表
论文级别:
博士
学位年度:2001
7.
屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究
作者:
曾永彬
关键词:
微细电铸
;
屏蔽阳极模板
;
活动模板
;
微小尺度
;
电场
;
定域性
论文级别:
博士
学位年度:2008
8.
射频感性耦合等离子体放电模式转变机理的模拟研究
作者:
赵书霞
关键词:
射频感性耦合等离子体
;
模式跳变
;
回滞
;
流体模型
;
混合模型
;
亚稳态
;
多步电离
论文级别:
博士
学位年度:2010
9.
射频感性耦合等离子体放电模式跳变及回滞的实验研究
作者:
高飞
关键词:
感性耦合等离子体
;
模式跳变
;
回滞现象
;
偏压效应
论文级别:
博士
学位年度:2011
10.
外加电磁场控制焊接变形及冷裂纹研究
作者:
徐达
关键词:
电磁感应
;
焊接变形
;
焊接应力
;
焊接冷裂纹
论文级别:
博士
学位年度:2011
1
2
3
4
5
6
7
按检索点细分(61)
题名(3)
目录(28)
关键词(5)
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引文(22)
按论文级别细分(61)
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硕士(42)
按学位年度细分(61)
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2005年(3)
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