CNKI学位论文(1)
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1.
UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究
作者:
胡洋洋
关键词:
SU-8
;
微细电铸
;
微细阵列电极
;
金属微细网板
;
微细电火花
;
微细电解
;
过电铸缩孔
论文级别:
博士
学位年度:2010
1
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