CNKI学位论文(1)
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条
1.
激光干涉光刻制备纳米尺度光栅
作者:
夏丁福
关键词:
干涉
;
光刻
;
对比度
;
举离
;
刻蚀
;
纳米压印
;
复合模板
论文级别:
硕士
学位年度:2012
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