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1.
基于垂直扫描工作台的白光干涉表面形貌测量系统研究
作者:
戴蓉
关键词:
扫描白光干涉术
;
定位工作台
;
光学轮廓仪
;
相移算法
;
6JA干涉仪
;
PZT驱动器
;
光栅传感器
论文级别:
博士
学位年度:2007
2.
真空紫外反射膜特性及相关技术研究
作者:
干蜀毅
关键词:
真空紫外反射膜
;
真空紫外反射镜
;
真空紫外反射率
;
Au膜
;
Ir膜
;
Al+MgF2
;
反射率计
;
多重分形
论文级别:
博士
学位年度:2008
3.
基于白光干涉的表面形貌接触和非接触两用测量系统的研究
作者:
郧建平
关键词:
表面形貌测量
;
白光干涉技术
;
Linnik干涉显微镜
;
非接触式测量
;
接触式测量
;
误差分析
;
标定
论文级别:
博士
学位年度:2008
4.
基于靶标反馈的自准直光束漂移抑制技术研究
作者:
敖磊
关键词:
自准直
;
角漂移量监测
;
分光式靶标探测
;
OFMM’s
论文级别:
博士
学位年度:2008
5.
基于布里渊散射的分布式光纤传感系统研究
作者:
常天英
关键词:
布里渊散射
;
分布式光纤传感器
;
同源
外差干涉
;
光调制
;
频移
论文级别:
博士
学位年度:2009
6.
外差干涉
椭圆偏振测量的理论与实验研究
作者:
邓元龙
关键词:
纳米薄膜
;
外差干涉
;
椭偏测量
;
非线性混频误差
;
塞曼激光器
论文级别:
博士
学位年度:2007
7.
超精密加工高反射曲面光学非接触三维形貌测量
作者:
李绍辉
关键词:
超精密加工高反射曲面
;
光栅相位偏折测量技术
;
白光扫描干涉测量技术
;
多传感器融合方法
;
虚拟参考面
;
区域波前重构
论文级别:
博士
学位年度:2012
8.
单频激光干涉系统性能优化及高精度测量技术研究
作者:
黄雷
关键词:
单频激光干涉系统
;
直流漂移
;
非线性误差
;
四路信号预处理
;
最小二乘椭圆拟合算法
;
抗干扰自适应系统
;
优化调校
;
激光测长机
论文级别:
博士
学位年度:2013
9.
傅里叶望远镜成像关键技术研究
作者:
于树海
关键词:
高分辨率成像
;
傅里叶望远镜
;
非均匀傅里叶变换
;
大气扰动
;
全相位谱分析
论文级别:
博士
学位年度:2014
10.
超大容量多波长全光再生与基于OEO的大量程、高精度绝对距离测量技术研究
作者:
王菊
关键词:
全光再生
;
参量过程
;
多波长判决
;
绝对距离测量
;
光电振荡器
;
激光测量
论文级别:
博士
学位年度:2013
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