CNKI学位论文(1)
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工业技术(1)
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1.
静电微器件的模型自由度缩减方法研究
作者:
林谢昭
关键词:
模型自由度缩减
;
宏模型
;
能量辨识
;
Galerkin方法
;
本征正交分解
;
子空间角度内插值
;
挤压膜阻尼
;
模态坐标
;
静电驱动
;
MEMSCAD
论文级别:
博士
学位年度:2010
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