CNKI学位论文(4)
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1.
基于叉指式共面波导的RF MEMS开关线型移相器研究
作者:
孙晓峰
关键词:
射频微机械系统
;
微机械传输线
;
叉指式共面波导
;
UV-LIGA
;
有限元仿真
;
静电开关
;
开关线型移相器
;
牺牲层技术
论文级别:
博士
学位年度:2008
2.
基于叉指式共面波导的RFMEMS开关线型移相器研究
作者:
孙晓峰
关键词:
射频微机械系统
;
微机械传输线
;
叉指式共面波导
;
UV-LIGA
;
有限元仿真
;
静电开关
;
开关线型移相器
;
牺牲层技术
论文级别:
博士
学位年度:2008
3.
高隔离度射频微机电开关的研究
作者:
林玲玲
关键词:
微机电开关
;
高隔离度
硅 ;
制造工艺
论文级别:
硕士
学位年度:2008
4.
间接加热式MEMS微波功率传感器的研究
作者:
范小燕
关键词:
MEMS
;
微波功率传感器
;
共面波导
;
终端电阻
;
热电堆
;
砷化镓
论文级别:
硕士
学位年度:2005
1
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