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1.
超精密机床液体静压导轨静动态特性分析及模态参数识别
作者：
刘一磊
关键词：
液体静压导轨
;
静态性能
;
动态特性
;
滑块偏移
;
幅板变形
;
模态参数
论文级别：
硕士
学位年度：2010
2.
基于激光干涉传感的二维运动平台研制
作者：
周汉英
关键词：
二维运动平台
;
激光干涉
;
气浮轴承
;
Fluent仿真
论文级别：
硕士
学位年度：2009
3.
超精密气浮定位平台动力学特性优化研究
作者：
李志鑫
关键词：
超精密气浮定位平台
;
动态特性分析
;
刚度数值优化
;
位置优化
;
拓扑优化
论文级别：
博士
学位年度：2008
4.
超精密运动平台中
气浮支承
振动特性的研究
作者：
叶燚玺
关键词：
气浮支承
;
气旋
;
微振动
;
气锤振动
;
振动传递
;
超精密运动平台
论文级别：
博士
学位年度：2010
5.
基于弹性薄板的气浮垫动态性能研究
作者：
马方杰
关键词：
气浮垫
;
动态刚度
;
阻尼系数
;
数值分析
;
实验台
;
有限差分
论文级别：
硕士
学位年度：2012
6.
基于PM控制器的静压导轨静动态特性理论与仿真分析
作者：
张作超
关键词：
液体静压导轨
;
PM流量控制器
;
线性化处理
;
静态特性
;
动态特性
论文级别：
硕士
学位年度：2012
7.
基于电流变阻尼器气浮工作台关键技术的研究
作者：
尹文韬
关键词：
直线电机驱动
;
气浮工作台
;
电流变阻尼器
;
理论与仿真
论文级别：
硕士
学位年度：2011
8.
直线电机驱动的气浮导轨实验台研制
作者：
张旭忠
关键词：
气浮导轨
;
直线电机
;
结构设计
;
性能检测
论文级别：
硕士
学位年度：2012
9.
超精密气浮定位工作台的动力学研究
作者：
何学明
关键词：
超精密定位工作台
;
气浮支承
;
直线电机直接驱动
;
动态特性分析
;
定位精度分析
论文级别：
博士
学位年度：2007
10.
基于气体润滑静压工作台的若干关键技术
作者：
王占彬
关键词：
超精密气浮工作台
;
环面节流
;
空气静压导轨
;
数值分析
;
有限差分
;
精度分析
论文级别：
硕士
学位年度：2009
1
2
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