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1.
射频磁控溅射法沉积氮化铜纳米薄膜及PLZT薄膜
作者:
王君
论文级别:
博士
学位年度:2006
2.
Al/AlN纳米多层膜及氮化铜光记录薄膜材料的制备与性能研究
作者:
吴志国
关键词:
Al/AlN多层膜
;
氮化铜薄膜
;
直流磁控溅射
;
摩擦磨损
论文级别:
博士
学位年度:2006
3.
铜互连结构的力学性质及基于互连结构制备的阻变存储器研究
作者:
卢茜
关键词:
互连结构
;
纳米力学性质
;
阻变式随机存储器
;
微区电流分布
;
氮化铜
;
氮化铝
论文级别:
博士
学位年度:2011
4.
磁控溅射制备
氮化铜薄膜
及其掺杂研究
作者:
白秋飞
关键词:
氮化铜薄膜
;
反应磁控溅射
;
氮气流量
;
Ni掺杂
;
晶体结构
;
表面形貌
论文级别:
硕士
学位年度:2012
5.
SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究
作者:
汪丹
关键词:
LaB_6
;
ITO
;
热处理
;
直流磁控溅射
;
双层薄膜
论文级别:
硕士
学位年度:2011
6.
低维纳米功能材料制备及研究
作者:
岳光辉
论文级别:
博士
学位年度:2007
7.
光记录材料与铁电材料的制备与性能研究
作者:
苗彬彬
关键词:
氮化铜薄膜
;
射频反应磁控溅射
;
PLT薄膜
;
溶胶─凝胶
;
性能
论文级别:
硕士
学位年度:2007
8.
射频反应磁控溅射制备氮化铜(Cu_3N)薄膜及其性能研究
作者:
袁晓梅
关键词:
氮化铜薄膜
;
射频反应磁控溅射
;
形貌
;
电阻率
;
光学带隙
;
显微硬度
论文级别:
硕士
学位年度:2006
9.
氮化物薄膜的制备及其结构与性能研究
作者:
杨磊
关键词:
氮化铜薄膜
;
氮化钛薄膜
;
结构
;
性能
论文级别:
硕士
学位年度:2011
10.
磁控溅射TiN/Cu-Zn抗菌纳米多层膜与复合膜制备及性能
作者:
韦春贝
关键词:
磁控溅射
;
骨架式多层膜
;
复合膜
;
界面电子结构
;
抗菌
论文级别:
博士
学位年度:2009
1
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