CNKI学位论文(1)
中图分类法(1)
数理科学和化学(1)
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1.
PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
作者:
吕少波
关键词:
波尔兹曼方程
;
流体动力学模型
;
MC模型
;
混合模型
;
容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
法拉第
探针
;
法拉第离子能量分析器
论文级别:
博士
学位年度:2010
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