CNKI学位论文(8)
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1.
氧化物薄膜忆阻器的材料选择与行为机制研究
作者:
李海涛
关键词:
忆阻器
;
氧化还原反应
;
铁电体
;
隧穿
论文级别:
博士
学位年度:2011
2.
几种微电子材料的制备、表征与性能研究
作者:
章闻奇
关键词:
高介电栅介质薄膜
;
无水硝酸盐
;
原子层沉积
;
化学气相沉积
;
电荷俘获型存储器
;
背散射电子衍射
;
电镀铜
;
自退火
论文级别:
博士
学位年度:2011
3.
几种锌基氧化物薄膜的原子层沉积制备、生长特性与性能表征
作者:
钱旭
关键词:
原子层沉积
;
ZnO
;
Al掺杂ZnO
;
Zn-Ti-O体系
;
生长特性
;
电阻率
论文级别:
博士
学位年度:2013
4.
Si_(83)Ge_(17)/Si基底上HfO_2薄膜的介电性能与纳米磁性
作者:
涂雅婷
关键词:
HfO_2薄膜
;
介电性能
;
纳米磁性
;
界面微结构
;
射频磁控溅射
论文级别:
硕士
学位年度:2012
5.
高介电薄膜材料的原子层沉积技术制备、表征及其在微电子领域的应用研究
作者:
付盈盈
关键词:
原子层沉积技术
;
金属有机源前驱体
;
高介电薄膜材料
;
GaAs
;
金属-氧化物-半导体场效应晶体管
;
纳米晶存储器
论文级别:
硕士
学位年度:2012
6.
铪基高介电常数
栅介质薄膜
的制备及其物性研究
作者:
刘毛
关键词:
高介电常数栅介质材料
;
磁控溅射
;
光学常数
;
界面层
;
晶化温度
论文级别:
博士
学位年度:2007
7.
射频磁控溅射HfO_2薄膜的电学特性及室温弱铁磁性研究
作者:
陈显峰
关键词:
HfO_2薄膜
;
介电性能
;
弱铁磁性
;
界面微结构
;
射频磁控溅射
论文级别:
硕士
学位年度:2011
8.
纳米晶及纳米叠层基电荷俘获型存储器的研究
作者:
汤振杰
关键词:
电荷俘获型
;
非易失性存储器
;
ZrO_2纳米晶
;
ZrO_2/Al_2O_3纳米叠层
;
能带排列
论文级别:
博士
学位年度:2012
1
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