CNKI学位论文(1)
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数理科学和化学(1)
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1.
镓铟氧化物薄膜的制备及性质研究
作者:
杨帆
关键词:
金属有机化学气相沉积
;
Ga_2O_3薄膜
;
In_2O_3薄膜
;
Ga_(2-2x)In_(2x)O_3薄膜
;
Sn掺杂Ga_(1.4)In_(0.6)O_3薄膜
论文级别:
博士
学位年度:2009
1
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