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1.
单晶MgO基片化学机械抛光机理与工艺研究
作者:
王科
关键词:
单晶MgO
;
基片
;
化学机械抛光
;
材料去除率
;
表面缺陷
论文级别:
博士
学位年度:2010
2.
超精密运动平台中气浮支承振动特性的研究
作者:
叶燚玺
关键词:
气浮支承
;
气旋
;
微振动
;
气锤振动
;
振动传递
;
超精密运动平台
论文级别:
博士
学位年度:2010
3.
基于自治与协商机制的柔性制造车间智能调度技术研究
作者:
王世进
关键词:
柔性制造系统
;
调度
;
动态重调度
;
自治与协商调度
;
Agent
;
Holon
;
pi-演算
;
合同网协议
;
强化学习
;
Q-学习
;
过滤定向搜索
论文级别:
博士
学位年度:2008
4.
制造网格中的服务质量保障机制及关键技术研究
作者:
孙海洋
关键词:
制造网格
;
服务质量保障
;
信任管理
;
评价管理
;
SLA管理
;
层次分析法
;
交互式多目标协商
论文级别:
博士
学位年度:2009
5.
真空机器人的磁性联轴器及轴系理论建模与实验研究
作者:
王禹林
关键词:
真空机器人
;
磁性联轴器
;
直接驱动
;
等效磁荷法
;
片电流法
;
仿真优化
论文级别:
博士
学位年度:2009
6.
基于压痕功的微纳米表层硬度检测技术研究
作者:
刘琦
关键词:
硬度
;
压痕尺寸效应
;
压痕功
;
载荷-压深曲线
;
三维形貌
论文级别:
博士
学位年度:2010
7.
纳米颗粒胶体射流抛光机理及试验研究
作者:
宋孝宗
关键词:
超光滑表面
;
抛光
;
纳米颗粒胶体射流抛光
;
量子化学
;
流体动力学
论文级别:
博士
学位年度:2010
8.
KDP晶体无磨料水溶解抛光方法与加工机理
作者:
王碧玲
关键词:
KDP晶体
;
无磨料水溶解抛光
;
抛光液
;
加工机理
;
表面形貌
论文级别:
博士
学位年度:2010
9.
二氧化硅介质层CMP抛光液研制及其性能研究
作者:
刘瑞鸿
关键词:
化学机械抛光
;
抛光液
;
粘附去除机理
;
材料去除率
;
化学反应速率方程
论文级别:
博士
学位年度:2009
10.
跨界产业集群之间合作网络研究
作者:
张云伟
关键词:
产业集群
;
跨界产业集群之间合作网络
;
演化
;
集成电路产业
论文级别:
博士
学位年度:2013
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