CNKI学位论文(10)
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1.
静电微器件的模型自由度缩减方法研究
作者：
林谢昭
关键词：
模型自由度缩减
;
宏模型
;
能量辨识
;
Galerkin方法
;
本征正交分解
;
子空间角度内插值
;
挤压膜阻尼
;
模态坐标
;
静电驱动
;
MEMSCAD
论文级别：
博士
学位年度：2010
2.
微静电开关的非线性动力学
作者：
陶志军
关键词：
微电子机械系统
;
内共振
;
静电开关
;
约束分岔
论文级别：
硕士
学位年度：2004
3.
用于全固态锂电池的无机电解质薄膜制备与性能研究
作者：
赵胜利
关键词：
电解质薄膜
;
LiPON
;
Li-V-Si-O
;
全固态电池
;
PLD
论文级别：
博士
学位年度：2003
4.
跨平台模具CAD系统研究与应用
作者：
葛怀峰
关键词：
跨平台
;
模具
;
CAD
;
ACIS
;
HOOPS
论文级别：
硕士
学位年度：2012
5.
接近式光刻仿真研究
作者：
李木军
关键词：
接近式紫外光刻
;
部分相干光
;
霍普金斯公式
;
图形失真
;
仿真
论文级别：
博士
学位年度：2007
6.
基于XML的MEMS材料数据库设计与实现
作者：
朱晓华
关键词：
微机电系统
;
材料数据库
;
半结构化数据
;
XML数据库
;
工具命令
;
语言
论文级别：
硕士
学位年度：2005
7.
微流控版图设计软件开发
作者：
杨洋
关键词：
微流控
;
版图
;
芯片
;
元器件
;
光栅图
;
矢量图
论文级别：
硕士
学位年度：2009
8.
薄膜锂电池正极LiCoO_2薄膜制备
作者：
程金斌
关键词：
薄膜锂电池
;
LiCoO_2薄膜
;
LiCoO_2靶材
;
热压烧结
;
磁控溅射
论文级别：
硕士
学位年度：2005
9.
MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究
作者：
林胜勇
关键词：
数值方法
;
加速松弛法
;
能量场
;
耦合
;
静电－力
论文级别：
硕士
学位年度：2001
10.
多晶SiC梳齿驱动器的结构分析与优化设计
作者：
高洁
关键词：
多晶SiC
;
静电梳齿驱动器
;
模态分析
;
优化设计
;
谐响应分析
论文级别：
硕士
学位年度：2006
1
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