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1.
掺杂剂对200 mm重掺杂硅片APCVD工艺前表面颗粒的影响
作者:
韩萍
;
曲翔
;
周旗钢
;
肖清华
;
刘斌
;
何宇
关键词:
颗粒
;
存放时间
;
重掺硅片
;
常压化学气相沉积
刊名:稀有金属
年:2019
1
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